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发明名称 PLASMA FILM-FORMING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP1786029(A4) 申请公布日期 2009.01.07
申请号 EP20050780931 申请日期 2005.08.25
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION;OHMI, TADAHIRO 发明人 KOBAYASHI, YASUO;NISHIZAWA, KENICHI;KAMESHIMA, TAKATOSHI;ISAKI, RYUICHIRO;SHINRIKI, MANABU
分类号 H01L21/31;B01D53/26;C23C16/44;H01L21/314;H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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