一种新型的静电放电防护装置

摘要

本发明公开了一种新型的静电放电防护装置，包括具有第一导电类型的P外延层和具有第二导电类型的N衬底。所述的P外延层制作在N衬底的上方。这样两层的结构设计使得该静电放电防护装置拥有两条ESD泄放路径。在低电流条件下，ESD电流通过P外延层，在高电流条件下，ESD电流主要通过N衬底。这样做的好处是通过P外延层内结构的设计来获得可调的触发电压，在高电流条件下将ESD电流导向N衬底来获得高鲁棒性和高维持电压。本发明提供的一种新型的静电放电防护装置，具有高鲁棒性，高维持电压，触发电压可调的特点。

主权项

一种新型的静电放电防护装置，其特征在于：包括具有第一导电类型的P外延层（201）和具有第二导电类型的N衬底（101）；所述的P外延层（201）制作在N衬底（101）的上方；所述的N衬底上从左到右依次设置有三个埋氧层（102），规划出阳极区和阴极区；在阳极区内设置第一导电类型的P埋层（104），P埋层（104）与中间的埋氧层（102）相连，与左侧的埋氧层（102）留有间距；在阴极区设置第一导电类型的P阱（103），P阱（103）与中间的埋氧层（102）和右侧的埋氧层（102）均相连；所述的P外延层（201）制作在N衬底（101）的上方，与N衬底（101）相连；在P外延层的左侧和右侧均制作有STI氧化层隔离（202）；两个氧化层（202）之间是装置的有源区，有源区的横向位置包含了所述的阳极区和阴极区的位置；在P外延层（201）上所述的阳极区和阴极区各设有一个N+注入区（203）；阳极区的N+注入区（203）的右侧与中间的埋氧层（102）相连，且超过了中间的埋氧层（102）的边界；阴极区的N+注入区（203）的左侧与中间的埋氧层（102）相连，且超过了中间的埋氧层（102）的边界；两个N+注入区（203）不相连，中间设置有P外延层（201）；在所述的P外延层（201）表面上还制作了氧化层（204），将P外延层（201）与上方的电气连接金属进行隔离；在氧化层的阳极区和阴极区还制作了接触孔，在接触孔内制作金属电极（205），分别与阳极区和阴极区的N+注入区（203）形成欧姆接触，并将阳极区和阴极区引出。