一种适用于湿法工艺的防磨支架

摘要

本实用新型公开了一种适用于湿法工艺的防磨支架，包括防磨支架本体，所述防磨支架本体开设有上下间隔设置的上滚轮安装孔和下滚轮安装孔，所述上滚轮安装孔中可拆卸安装有上滚轮耐磨套，所述下滚轮安装孔中可拆卸安装有下滚轮耐磨套；安装时，上滚轮的端部的轴伸入所述上滚轮耐磨套中与所述上滚轮耐磨套可转动连接；下滚轮的端部的轴伸入所述下滚轮耐磨套中与所述下滚轮耐磨套可转动连接。该防磨支架能够提高耐磨性能，避免运转传输卡顿，保证硅片品质。

主权项

一种适用于湿法工艺的防磨支架，包括防磨支架本体(1)，所述防磨支架本体(1)开设有上下间隔设置的上滚轮(4)安装孔(2)和下滚轮安装孔(3)，其特征在于，所述上滚轮安装孔(2)中可拆卸安装有上滚轮耐磨套(21)，所述下滚轮安装孔(3)中可拆卸安装有下滚轮耐磨套(31)；安装时，上滚轮(4)的端部的轴伸入所述上滚轮耐磨套(21)中与所述上滚轮耐磨套(21)可转动连接；下滚轮(5)的端部的轴伸入所述下滚轮耐磨套(31)中与所述下滚轮耐磨套(31)可转动连接。