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发明名称 METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR CHIPS FROM A WAFER
摘要
申请公布号 EP1834353(A1) 申请公布日期 2007.09.19
申请号 EP20050810903 申请日期 2005.11.07
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SPITZ, RICHARD;GOERLACH, ALFRED;HAHN, FRIEDERIKE
分类号 H01L21/78;H01L29/04;H01L29/66;H01L29/866 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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