| 发明名称 |
INSPECTION METHOD AND INSPECTION DEVICE FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PRODUCTION METHOD FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1650787(A4) |
申请公布日期 |
2007.09.19 |
| 申请号 |
EP20040748072 |
申请日期 |
2004.07.23 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
ISHII, MIKIHIKO;ICHIHARA, YUTAKA;GEMMA, TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/027;G01M11/02;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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