| 摘要 |
본 발명의 실시 형태에 따른 제조 장치 관리 시스템은 불량률 검출부와, 유의차 검정부와, 불량 판정부를 포함한다. 상기 불량률 검출부는, 제1 불량률을 갖는 제1 장치 통과 이력을 추출한다. 상기 불량률 검출부는, 상기 제1 장치 통과 이력으로부터 제2 불량률을 갖는 제2 장치 통과 이력을 제외한 제3 불량률을 검출한다. 상기 유의차 검정부는 유의차 검정값을 산출한다. 상기 불량 판정부는 상기 제3 불량률과 상기 유의차 검정값에 기초하여 제3 장치 통과 이력을 추출한다. |
