一种基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器，所述生物传感器包括衬底，衬底上设有沟道层，所述沟道层上设有功能化石墨烯层，所述功能化石墨烯层的两端设有源电极和漏电极，所述功能化石墨烯层中间部分表面固定连接生物识别分子，其制备方法包括如下：(1)以金属箔为基底，生长石墨烯薄膜，将石墨烯薄膜转移至衬底上，作为沟道层；(2)再在沟道层上形成一层石墨烯层，通过脉冲等离子法形成活性基团功能化石墨烯层；(3)通过光刻和蒸镀工艺，在功能化石墨烯层的两端形成源电极和漏电极；在功能化石墨烯层中间部分的表面固定连接生物识别分子，得到基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器。所述生物传感器具有高检测灵敏度和检测速度。

主权项

一种基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，所述生物传感器包括衬底，衬底上设有沟道层，所述沟道层上设有功能化石墨烯层，所述功能化石墨烯层的两端设有源电极和漏电极，所述功能化石墨烯层中间部分表面固定连接生物识别分子，其制备方法包括如下：(1)以金属箔为基底，生长双层石墨烯薄膜，将双层石墨烯薄膜转移至衬底上，作为沟道层；(2)再在沟道层上形成一层石墨烯层，通过脉冲等离子法形成活性基团功能化石墨烯层；(3)通过光刻和蒸镀工艺，在功能化石墨烯层的两端形成源电极和漏电极；(4)在功能化石墨烯层中间部分的表面固定连接生物识别分子，得到基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器。