含硅共聚物电阻型薄膜湿敏元件

摘要

本实用新型公开了一种含硅共聚物电阻型薄膜湿敏元件。含硅共聚物电阻型薄膜湿敏元件具有微晶玻璃片基体，在微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极，在叉指金电极上连接有引线，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上涂覆有感湿膜，感湿膜为含硅阳离子聚电解质共聚物。方法的步骤如下：1)用浸涂机将微晶玻璃叉指金电极浸渍在感湿液中，提拉、取出后，热处理制得感湿膜；2)将具有感湿膜的微晶玻璃叉指金电极在一定湿度和温度下，通电老化，制得含硅共聚物电阻型薄膜湿敏元件。本实用新型是一种宽湿度量程，高灵敏度，特别有极快响应速度的电阻型湿敏元件，而且制作方法简单，成本低，可广泛应用于过程及环境湿度的精度测量与控制。

主权项

1.一种含硅共聚物电阻型薄膜湿敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃片基体(1)，在微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上涂覆有感湿膜(3)，感湿膜(3)为含硅阳离子聚电解质共聚物。