显示器阵列与多层互补式导线之结构及制造方法

摘要

一种显示器阵列与多层互补式导线之结构及制造方法，在不增加光刻掩模数目的情况下，制造具有双层互补导线结构的薄膜晶体管显示器阵列，可解决显示器内导线电阻之问题。

主权项

1.一种薄膜晶体管显示器阵列之制造方法，其特征是至少包含：形成第一导电材料层于基板上；图案化该第一导电材料层以定义出第一层扫描线与不连续之第一层数据线；沉积栅极绝缘层、主动层与掺杂层于该第一导电材料层与该基板上；图案化该栅极绝缘层、该主动层与该掺杂层，以定义主动区与跨线区图形；形成第二导电材料层于该基板上；以及图案化该第二导电材料层，以定义出第二层数据线与不连续之第二层扫描线，并将该图案化之掺杂层分开成第一掺杂区与第二掺杂区，其中该不连续之第二层扫描线与该第一层扫描线贴紧接触形成扫描线导线结构，该不连续之第一层数据线与该第二层数据线贴紧接触形成数据线导线结构，而其中该栅极绝缘层、该主动层与该第一掺杂区与该第二掺杂区形成薄膜晶体管结构。