| 摘要 |
1. Термически и оптически управляемое фокусирующее устройство, содержащее на поверхности подложки массив ячеек с деформируемыми мембранами, образованными тонкопленочным слоем, отличающееся тем, что тонкопленочный мембранный слой своей нижней поверхностью совпадает с поверхностью подложки, причем адгезия между отдельными участками поверхностей отсутствует, в то время как материал слоя имеет положительный коэффициент термического расширения. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что упомянутый слой частично поглощает оптическое излучение. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что упомянутый слой изготовлен из проводящего материала, причем устройство содержит электрические контакты, соединенные электрически с упомянутым слоем, а подложка изолирующая. ! 4. Устройство по любому из пунктов, отличающееся тем, что упомянутая подложка прозрачная и с упомянутым слоем имеет одинаковые коэффициенты термического расширения, причем упомянутый слой не имеет тангенциальных напряжений. |
