METHOD OF FORMING INSULATING FILM AND METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号EP20020710479-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF FORMING INSULATING FILM AND METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	EP1271632(A4)	申请公布日期	2010.02.24
申请号	EP20020710479	申请日期	2002.02.01
申请人	PANASONIC CORPORATION	发明人	ERIGUCHI, KOJI
分类号	H01L29/78;H01L21/28;H01L21/3115;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/310;H01L21/823	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
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