薄膜电晶体基板及其制造方法;THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

摘要

本发明系提供一种薄膜电晶体基板、其制造方法、以及包含其之显示装置。在本发明的一个态样中，提供了一种薄膜电晶体基板，其包含基板、形成在基板上的半导体层、形成在半导体层上的闸极绝缘膜、形成在闸极绝缘膜上的闸极电极、形成在闸极电极上且包含用于暴露半导体层的部分的源极接触孔及汲极接触孔的层间绝缘膜，以及分别插入源极接触孔及汲极接触孔的源极电极以及汲极电极。层间绝缘膜包含形成在源极接触孔的入口及汲极接触孔的入口的第一凸部。