弹性波装置

摘要

本发明提供一种不易产生由翘曲造成的特性的劣化且在输送时等不易产生破裂的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)，在基板(2)上依次层叠有高声速膜(4)、低声速膜(5)以及压电膜(6)，接合层(7)设置在从高声速膜(4)中到低声速膜(5)与压电膜(6)的界面为止的任何位置。或者，本发明的弹性波装置，在高声速基板上层叠有低声速膜和压电膜，接合层位于低声速膜中或位于压电膜与低声速膜的界面。

主权项

一种弹性波装置，具备：压电膜；低声速膜，层叠在所述压电膜，传播的体波的声速比在所述压电膜传播的体波的声速低；高声速膜，层叠在所述低声速膜的与所述压电膜相反侧的面，传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高；基板，直接或间接地层叠在所述高声速膜的与所述低声速膜相反侧的面；以及接合层，设置在从所述高声速膜中到所述低声速膜与所述压电膜的界面为止的任何位置。