振动型角速度传感器

摘要

本发明公开了一种振动型角速度传感器，包括：第一和第二角速度传感器(100、200)；以及异常监测信号产生和输出单元(7、8、16、21、121)，其包括反相波形合成部分(6、7、16、21、121)。第一和第二角速度传感器(100、200)包括：振动器(41a、41b)；振动驱动单元(6)；以及检测波形产生单元(CA1-CA4、CA1A-CA4A、CA1B-CA4B、20a、20b、45a1、45a2、45b1、45b2、45S1、45S2、45S1A、45S1B、45S2A、45S2B、75、76)。反相波形合成部分(6、7、16、21、121)对所述第一和第二检测波形进行反相合成。异常监测信号产生和输出单元(7、8、16、21、121)根据从所述第一和第二检测波形合成的合成反相波形来产生以及输出一异常监测信号。

主权项

1.一种振动型角速度传感器，包含：第一角速度传感器(100)以及第二角速度传感器(200)；和异常监测信号产生和输出单元(7、8、16、21、121、124)，其包括反相波形合成部分(6、7、16、21、121)，其中所述第一和第二角速度传感器(100、200)的每一个都包括：振动器(41a、41b)，其在预先确定的参考方向上振动；振动驱动单元(6)，用于使所述振动器(41a、41b)以预先确定的恒定振幅振动；以及检测波形产生单元(CA1-CA4、CA1A-CA4A、CA1B-CA4B、20a、20b、45a1、45a2、45b1、45b2、45S1、45S2、45S1A、45S1B、45S2A、45S2B、75、76)，用于根据施加到所述振动器(41a、41b)上的角速度来检测所述振动器(41a、41b)在与所述参考方向正交的角速度检测方向上的振动分量，以及根据所述振动分量来产生第一或第二检测波形，所述反相波形合成部分(6、7、16、21、121)将从所述第一角速度传感器单元(100)获得的所述第一检测波形与从所述第二角速度传感器单元(200)获得的第二检测波形以下面的方式进行合成，即所述第一检测波形的相位与所述第二检测波形的相位相反，所述第一检测波形是根据所述第一角速度传感器(100)中的振动器(41a)的位移量来产生的，以及所述第二检测波形是根据所述第二角速度传感器(200)中的振动器(41b)的位移量来产生的，和所述异常监测信号产生和输出单元(7、8、16、21、121、124)根据由所述第一和第二检测波形合成的合成反相波形来产生并输出一异常监测信号，其中，所述异常检测信号用于监测传感器输出的异常。