微镜阵列和制造该微镜阵列的方法

摘要

本发明公开了一种微镜阵列和制造该微镜阵列的方法。制造用在控制光学元件的光路中的微镜阵列的方法，包括：形成至少一个定位图案，其中，微镜将被设置在基板上；在定位图案中设置具有至少一个反射表面的微镜。

主权项

1、一种用在控制光学元件的光路中的微镜阵列，所述微镜阵列包括：基板；至少一个定位图案，形成在所述基板的一个表面上；微镜，位于所述定位图案中，并且具有至少一个镜面，其中，所述微镜与所述基板分开形成，其中，所述微镜在所述定位图案的一侧的方向上排列，并且将粘合剂注入到所述微镜和所述定位图案的接触部分中。