发明名称 制造包括被磁材料环绕的电导体的元件的方法
摘要 一种制造电子电感电路元件的方法,该元件包括伸长的电导体(1),其为沿着至少部分所述导体延伸的磁材料(2)所环绕。在该导体之上和之下,跨过所述导体(1)分别形成第一牺牲层(10)和第二牺牲层(7),去除至少部分的所述牺牲层(7、10),以留下环绕所述导体的空间(12),将包括散布在液体分散剂中的磁纳米微粒的流体(16)引入所述空间(12),并且去除所述分散剂,留下所述磁纳米微粒紧密聚集在所述空间(12)中作为至少部分的所述磁材料(2)。
申请公布号 CN100446174C 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200480036870.9 申请日期 2004.12.10
申请人 飞思卡尔半导体公司;法国国家科学研究中心 发明人 凯瑟琳·阿缅斯;布律诺·肖德雷;菲利普·普雷诺;弗雷德里克·迪梅斯特
分类号 H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 黄启行;穆德骏
主权项 1.一种制造电子电路元件的方法,该元件包括伸长的电导体(1),其被沿着至少部分所述导体延伸的磁材料(2)所环绕,该方法特征在于:在所述导体(1)上并跨过所述导体(1)形成至少第一牺牲层(10),将所述第一牺牲层(10)的至少部分去除,以留下在所述导体上并跨过所述导体的空间(12、13),将包括散布在液体分散剂中的磁纳米微粒的流体(16)引入所述空间(12、13),并且去除所述分散剂,留下所述磁纳米微粒紧密聚集在所述空间(12、13)中作为所述磁材料(2)的至少部分。
地址 美国得克萨斯