| 发明名称 | 静电卡盘 | ||
| 摘要 | 本发明的静电卡盘包括：基底部；粘结在所述基底部上的绝热层；和粘结在所述绝热层上并通过在陶瓷基板部中设置加热电极和静电卡盘(ESC)电极而构成的卡盘功能部。在所述绝热层的两个表面侧上分别设置粘合层。对于所述基底部和所述卡盘功能部以高粘合强度粘结在一起的情况，开孔形成于所述绝热层中并填充有所述粘合层。 | ||
| 申请公布号 | CN101378030A | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
| 申请号 | CN200810130298.2 | 申请日期 | 2008.06.27 |
| 申请人 | 新光电气工业株式会社 | 发明人 | 米仓宽;吉川忠义 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);C23C16/458(2006.01);C23C16/46(2006.01);B23Q3/15(2006.01);H02N13/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰;庞东成 |
| 主权项 | 1.一种静电卡盘，所述静电卡盘包括：基底部；粘结在所述基底部上的绝热层；和粘结在所述绝热层上的卡盘功能部，所述卡盘功能部通过在陶瓷基板部中设置加热电极和静电卡盘(ESC)电极而构成。 | ||
| 地址 | 日本长野县 | ||