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发明名称 Multi-directional deposition in array fabrication
摘要
申请公布号 EP1334768(A3) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 EP20030250574 申请日期 2003.01.30
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FISHER, WILLIAM D.;WEBB, PETER G.;SHCHEGROVE, SVETLANA V.;CAREN, MICHAEL P.
分类号 B01J19/00;B01L3/02;C40B40/06;C40B40/10;C40B40/12;C40B50/14;C40B60/14;G01N35/10;(IPC1-7):B01J19/00 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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