| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Bauteil mit mindestens einem monolithi- sehen Piezoelement (10) , aufweisend eine Elektrodenschicht (101) , mindestens eine weitere Elektrodenschicht (102) und mindestens eine zwischen den Elektroden- schichten (102) angeordnete Piezokeramikschicht (103) . Das piezoelektrische Bau- teil ist dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwischen einer der Elektroden- schichten und der Piezokeramikschicht eine mit zumindest einer der Schichten in direktem Kontakt stehende Entkopplungsschicht (100) zur mechanischen Entkopp- lung der Elektrodenschisht und der Piezokeramikschicht angeordnet ist. Zur Lösung der Aufgabe wird auch ein Verfahren zum Herstellen des piezoelektrischen Bauteils angegeben. Dabei werden folgende Verfahrensschritte durchgeführt : a) Bereitstellen eines schichtförmigen Grünkörpers mit mindestens einer kerami- sehen Grünfolie mit piezokeramischem Material, mindestens einem Elektrodenfilm mit Elektrodenmaterial und mindestens einem zwischen der Grünfolie. und dem Elektrodenfilm angeordneten Entkopp lungs film mit Entkopplungsmaterial und b) Sintern des Grünkörpers, wobei aus der Grünfolie die Piezokeramikschicht, aus rlem Entkopplungsfilm die Entkopplungsschicht und aus dem Elektrodenfilm die Elektrodenschicht gebildet werden. Mit Hilfe der Entkopplungsschicht gelingt es, Rissbildung und Risswachstum zu kontrollieren und zu begrenzen. Es resultiert ein im Vergleich zum Stand der Technik zuverlässigeres Bauteil. Verwendung findet das piezoelektrische Bauteil in der Automobiltechnik zum Ansteuern eines Einspritzventils einer Brennkraftmaschine.</p> |
