用于制作电路的在线沉积方法

摘要

本发明的一个实施方案针对孔眼掩模沉积技术，它使用形成在一个或多个细长的柔性膜卷材中的孔眼掩模图案。该技术涉及依次透过膜中形成的掩模图案沉积材料以形成电路层或电路层的一部分。沉积基材还可以由细长卷材形成，该沉积基材卷材可送过一系列沉积装置。每个沉积装置中可具有形成有孔眼掩模图案的细长卷材。该掩模图案的细长卷材沿垂直于沉积基材卷材的方向送入。这样，电路制作过程可以在线进行。而且，该操作可自动化，能减少人为误差并提高产率。

主权项

权利要求书1.一种可重新定位的孔眼掩模，它包括：柔性膜细长卷材；和形成在该膜中的沉积掩模图案，所述沉积掩模图案具有透过该膜延伸的多个沉积孔眼，这些沉积孔眼能形成集成电路的至少一部分，所述卷材至少50厘米长。