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发明名称 UNIFORM CHARGED PARTICLE EXPOSURE DEVICE AND METHOD USING TRANSLATABLE STAGE AND FARADAY CUP
摘要
申请公布号 EP1277222(A4) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20010920790 申请日期 2001.03.27
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BERRIAN, DONALD, W.
分类号 H01J37/04;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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