发明名称 |
液滴発生器ステアリングシステム |
摘要 |
EUVシステム内の液滴発生器のためのステアリングシステム。ステアリングシステムは、液滴発生器の液滴放出点の制御式位置決めを可能にする。液滴発生器を保持する可動部材は、可動部材の横方向の平行移動を制約する第1のサブシステムと可動部材の相対的な傾きを制御する第2のサブシステムとを有する結合システムを通じてEUVシステムの静止要素に結合される。第1及び第2のサブシステムは、好ましくは、非常に正確かつ反復可能な位置決めを可能にする1つのフレクスチャ又はその組合せを含む。【選択図】 図3B |
申请公布号 |
JP2015506078(A) |
申请公布日期 |
2015.02.26 |
申请号 |
JP20140547260 |
申请日期 |
2012.11.20 |
申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
发明人 |
バウムガート ピーター エム;アルゴッツ ジェイ マーティン;ゴヴィンダラジュ アブヒラム;ラジャグル チラグ |
分类号 |
H05G2/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H05G2/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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