发明名称 液滴発生器ステアリングシステム
摘要 EUVシステム内の液滴発生器のためのステアリングシステム。ステアリングシステムは、液滴発生器の液滴放出点の制御式位置決めを可能にする。液滴発生器を保持する可動部材は、可動部材の横方向の平行移動を制約する第1のサブシステムと可動部材の相対的な傾きを制御する第2のサブシステムとを有する結合システムを通じてEUVシステムの静止要素に結合される。第1及び第2のサブシステムは、好ましくは、非常に正確かつ反復可能な位置決めを可能にする1つのフレクスチャ又はその組合せを含む。【選択図】 図3B
申请公布号 JP2015506078(A) 申请公布日期 2015.02.26
申请号 JP20140547260 申请日期 2012.11.20
申请人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 发明人 バウムガート ピーター エム;アルゴッツ ジェイ マーティン;ゴヴィンダラジュ アブヒラム;ラジャグル チラグ
分类号 H05G2/00;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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