Mikrospektroskopische Vorrichtung

摘要

In einer mikrospektroskopischen Vorrichtung, die mit einer Objektivlinse mit einer hohen numerischen Apertur versehen ist, tritt aufgrund des Temperaturdrifts usw. ein Fokusfehler auf, der eine automatische Fokussierung notwendig macht. Die herkömmliche automatische Fokussierung auf der Basis einer durchfokussierten Bilderfassung ist zeitaufwendig, und deshalb ist sie auf eine kontinuierliche Langzeitmessung, in welcher eine Hochgeschwindkeitsabtastung durchgeführt wird, nicht anwendbar. Die vorliegende Erfindung spricht dieses Problem an, indem sie einen Fokusfehlererkennungsstrahl bereitstellt, der auf die Objektivlinse einfällt und entweder einen Fokusfehler oder einen Astigmatismus aufweist. Da die Art der Unschärfe des Bilds des Lichtflecks des Fokusfehlererkennungsstrahls je nach Richtung des Fokusfehlers unterschiedlich ist, wird die Echtzeiterkennung der Größe und Richtung des Fokusfehlers ermöglicht, und dies ermöglicht die automatische Echtzeit-Hochgeschwindigkeitsfokussierung.