晶座

摘要

晶座下面系设置有为收容主轴之凹部的轴承。轴承系具有从下面朝向上面变细之锥状。轴承侧壁系设置有在水平方向中相较于轴承与主轴之嵌合面更靠轴承外侧之空隙。藉此，便可一边抑制晶座轴承与主轴的嵌合力之降低，一边抑制轴承附近之晶座温度降低。