发明名称 一种植球装置及其植球方法;PLANTING DEVICE AND PLANTING METHOD THEREOF
摘要 本揭露提供一种植球装置及其植球方法,植球装置包含一基板、一介电层以及一锡膏。该基板包含一表面。该介电层设置于该表面上,其中该介电层包含复数个孔洞。该锡膏填充于该些孔洞,其中该锡膏之一顶面与该介电层之一暴露面齐平。
申请公布号 TW201508848 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW102130157 申请日期 2013.08.23
申请人 南茂科技股份有限公司 CHIPMOS TECHNOLOGIES INC. 发明人 廖宗仁 LIAO, TSUNG JEN
分类号 H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 洪荣宗
主权项
地址 新竹县新竹科学工业园区研发一路1号 TW