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发明名称 SOURCE HEAD ARC CHAMBER OF ION INJECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100711699(B1) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 KR20050068974 申请日期 2005.07.28
申请人 IONES;EOM, HONG KUK;LEE, MUN KI;KIM, BYUNG KI 发明人 EOM, HONG KUK
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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