| 摘要 |
仕様の範囲内であるレチクルは、各異常なレチクル特徴の場所及びサイズ値を示すベースライン事象を生成するために検査される。フォトリソグラフィにおいてレチクルを使用した後、レチクルは、異常なレチクル特徴の場所及びサイズ値を示す現在の事象を生成するために検査される。候補欠陥及びそれらの画像の検査報告は、これらの候補欠陥が、現在の事象の第１のサブセット及びそれらの対応する候補欠陥画像を含み、現在の事象の第２のサブセット及びそれらの対応する除外された画像を除外するように生成される。含まれた第１の事象のうちのそれぞれは、任意のベースライン事象の場所及びサイズ値と照合しない場所及びサイズ値を有し、除外された第２の事象のうちのそれぞれは、ベースライン事象の場所及びサイズ値と照合する場所及びサイズ値を有する。 |
