发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR SELECTIVELY COLLECTING PROCESS EFFLUENT |
摘要 |
본 발명은 요망된 가스, 예컨대, 제논 디플루오라이드, 제논, 아르곤, 헬륨 또는 네온을 단독으로 또는 가스 혼합물로 또는 분해되는 분자로 이용하는 화학 공정 반응기의 유출물로부터 상기 가스를 회수하는 장치 및 방법으로서, 화학 공정 반응기가 일련의 상이한 가스 조성물을 사용하는데, 그러한 가스 조성물 모두가 요망된 가스를 함유하지는 않으며, 요망된 가스는 요망된 가스가 유출물중에 존재하는 시간 동안에만 실질적으로 포집 및 회수되는 장치 및 방법을 개시하고 있다. |
申请公布号 |
KR101630724(B1) |
申请公布日期 |
2016.06.16 |
申请号 |
KR20130031595 |
申请日期 |
2013.03.25 |
申请人 |
에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 |
发明人 |
윈체스터, 데이비드 찰스;보스코, 매튜 존;클레인, 게랄드 더블유.;웨스트, 이삭 패트릭;삼살, 리차드 린톤;드, 더글라스 폴;존슨, 앤드류 데이비드;칼왁키, 유진 조셉 주니어 |
分类号 |
B01D53/73;B01J7/00;C01B23/00 |
主分类号 |
B01D53/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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