| 摘要 |
ウエハ等の板状試料を載置する載置面における面内温度分布を均一化することができ、さらには板状試料上におけるプラズマ密度を均一化することで板状試料のプラズマエッチングの面内均一性を向上させることができる静電チャック装置が提供される。そのような静電チャック装置は、上面を板状試料を載置する載置面とするとともに静電吸着用内部電極を内蔵してなる静電チャック部と、この静電チャック部を冷却する冷却ベース部とを備え、この静電チャック部と冷却ベース部との間に所定の形状のヒーターパターン（２１）を有するヒータエレメント（４）を設け、このヒーターパターン（２１）の隙間部分（２３）に、ヒーターパターン（２１）から独立しかつヒーターパターン（２１）と同一の材質からなる島状部（２４）を備えている。 |
