| 摘要 |
本発明は、ガス供給ラインとガス装置の一層の小型化を図ると共に、各機器類の保守管理をより容易に行えるようにする。本発明は、ガス入口側ブロックとガス出口側ブロックと複数の流体制御機器により供給ラインが形成された供給装置において、前記ガス供給装置には少なくとも２つのガス供給ラインが形成され、各ガス供給ラインの前記流体制御機器は少なくとも１つの流量制御器を含み、前記入口側ブロックに対し一方のガス供給ラインの流量制御器の入口側ブロックと他方のガス供給ラインの流量制御器の入口側ブロックが対向状に接続され、前記ガス出口側ブロックに対し一方の流量制御器の出口側ブロックと他方の流量制御器の出口側ブロックが対向状に接続される。 |
