发明名称 |
希土類元素を含んだ溶射用粉末及び皮膜、並びに前記皮膜を備えた部材 |
摘要 |
本発明の溶射用粉末は、希土類元素と、希土類元素以外でかつ酸素以外の元素である希釈元素、例えば亜鉛、ケイ素、ホウ素、リン、チタン、カルシウム、ストロンチウム及びマグネシウムから選ばれる一以上の元素とを含んでいる。希釈元素の単一酸化物の焼結体は、特定のエッチング条件下でのエロージョンレートが、同じエッチング条件下での酸化イットリウム焼結体のエロージョンレートの5倍以上である。 |
申请公布号 |
JPWO2013047588(A1) |
申请公布日期 |
2015.03.26 |
申请号 |
JP20130536330 |
申请日期 |
2012.09.26 |
申请人 |
株式会社フジミインコーポレーテッド;東京エレクトロン株式会社 |
发明人 |
水野 宏昭;北村 順也;小林 義之 |
分类号 |
C23C4/10 |
主分类号 |
C23C4/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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