多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法

摘要

多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：在玻璃盘基上旋涂由多种波长激光一一对应的多种光致变色材料混合而成的感光层；多种波长的刻录激光通过复消色差物镜聚焦在同一感光层上，进行多路并行刻录；改变曝光区域光致变色材料对特定波长激光的吸收率，并按吸收率的高低分阶以记录数据；对感光层进行固定处理；在感光层上再旋涂一层透明的固化介质层；把固化介质层和感光层从玻璃盘基上一起剥离；在感光层上甩涂保护层，三者组成的掩膜即为母盘。

主权项

1、多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：(1)把由多种波长激光一一对应的多种光致变色材料混合而成的感光层旋涂于玻璃盘基上，该感光层厚度小于所用所有激光的焦深；(2)多种波长的刻录激光通过复消色差物镜聚焦在同一感光层上，进行多路并行刻录。调焦信号是从其中一路激光的反射光检测得到的；(3)在刻录过程中，改变曝光区域光致变色材料对特定波长激光的吸收率，并按吸收率的高低分阶以记录数据；(4)刻录完成后对感光层进行固定，使感光材料不再对刻录激光敏感，提高感光层稳定性；(5)固定完成后在感光层上再旋涂一层透明的固化介质层，然后采用分离工艺将固化介质层和感光层一起从玻璃盘基上剥离，然后在感光层上再甩涂上透明的保护层，由固化介质层、感光层和保护层构成的掩膜即为可以用于多波长多阶只读母盘复制工艺的母盘。