探针定位和连结设备以及探针连结方法

摘要

本发明公开一种探针定位和连结设备以及一种探针连结方法，更具体是一种用于将探针固定至基底上的指定位置而制造用于半导体集成电路测试装置之探针卡的探针定位和连结设备，以及一种采用该设备的探针连结方法。该探针定位和连结设备包括：台架单元，其设置于工作台上；显微镜，其设置于台架单元之上方，同时由设置在工作台上的第一支撑件支撑；探针固定单元，其设置于台架单元之上方、显微镜之下方，由设置在工作台上的第二支撑件支撑；以及光源单元，其由设置在该工作台上的第三支撑件支撑。该光源单元朝向台架单元的上部设置。

主权项

1.一种探针定位和连结设备，包括：台架单元，其设置于工作台上，其中，所述台架单元包括：一个x轴移动台架、一个y轴移动台架、第一z轴移动台架以及一个旋转台架，所述旋转台架绕z轴旋转，且其中所述的x轴移动台架、y轴移动台架、第一z轴移动台架以及旋转台架从底部向顶部叠置成竖列式；显微镜，其设置于所述台架单元之上方，同时由一个设置在所述工作台上的第一支撑件支撑；探针固定单元，其设置于所述台架单元之上方、所述显微镜之下方，同时由一个设置在所述工作台上的第二支撑件支撑；以及光源单元，其由一个设置在所述工作台上的第三支撑件支撑，所述光源单元朝向所述台架单元的上部设置，其中，所述光源单元是一个激光产生器。