发明名称 Struktur und Herstellungsverfahren für eine selektiv abgeschiedene Verkappungsschicht auf einem epitaxial aufgewachsenen Source-Drain
摘要
申请公布号 DE112007000760(T5) 申请公布日期 2009.01.29
申请号 DE200711000760T 申请日期 2007.03.19
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 COOK, TED JUN.;SELL, BERNHARD;MURTHY, ANAND
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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