| 摘要 |
ステージ（ＷＳＴ１）上面の中心を原点とする第１、第２、第３及び第４象限のコーナー部分に、各３つの２次元ヘッド（６０ｉ、６０ｉａ、６０ｉｂ（ｉ＝１〜４））を設ける。４つのヘッド（６０ｉ（ｉ＝１、２、３、４））のうち、ステージ（ＷＳＴ１）の上方に設けられたスケール板（２１）の２次元グレーティング（ＲＧ）に対向する３つのヘッド（６０ｉ）を用いてステージ（ＷＳＴ１）の位置を計測しつつ、ステージ（ＷＳＴ１）を駆動し、駆動中に、その３つのヘッドがそれぞれ属するヘッド群（６１ｉ）に属する各３つのヘッドのヘッド（６０ｉ）に対する残り２つのヘッド（６０ｉａ、６０ｉｂ）の計測方向に関する計測値の差分のデータを取り込み、その差分のデータを用いて、２次元グレーティング（ＲＧ）の計測方向に関するグリッド誤差を較正する。 |
