发明名称 銅要素の結晶構造を修正する方法
摘要 A method for modifying crystalline structure of a copper element with a planar surface, including: a) producing a copper standard having large grains, wherein the standard includes a planar surface, b) reducing roughness of the planar surfaces to a roughness of less than 1 nm, c) cleaning the planar surfaces, d) bringing the two planar surfaces into contact, and e) annealing.
申请公布号 JP5703296(B2) 申请公布日期 2015.04.15
申请号 JP20120516792 申请日期 2010.07.01
申请人 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 发明人 レア・ディ・チオッチオ;ピエリック・ゲゲン;モーリス・リヴォワール
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/768;H01L23/532 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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