| 摘要 |
基板を移動させる段階では移動速度を速くしつつ、基板を加圧する段階では圧力を大きくしなければならない。加圧装置は、互いに重なり合った複数の半導体基板を接合すべく加圧する加圧装置であって、複数の半導体基板を支持する第１ステージと、第１ステージとの間で複数の半導体基板を挟持可能な第２ステージと、複数の半導体基板を挟持すべく第１ステージを第２ステージに向けて移動させる駆動部と、駆動部により第１ステージが予め定められた位置に達したときに第１ステージに押圧力を与え、第１ステージと第２ステージとの間で複数の半導体基板を加圧する加圧部とを備え、駆動部および加圧部は、第１ステージの下の空間で移動方向に少なくとも一部が互いに重なるように並置されている。 |
