大型环抛机抛光胶盘平面度的测量装置及其测量方法

摘要

一种大型环抛机抛光胶盘平面度的测量装置，包括激光器底座、激光器、直线导轨、滑块、位置传感器和位置传感器底座。测量时，激光器和直线导轨一起放置在待测工件之上，二者不发生接触。滑块仅与直线导轨垂直面接触，位置传感器随滑块沿直线导轨做水平运动，位置传感器底座与待测工件表面接触。测量后得到的位置信息在电脑上显示出来。该装置具有测量准确、快速的优点。

主权项

一种大型环抛机抛光胶盘平面度的测量装置，其特征在于，包括激光器底座(2)、激光器(3)、直线导轨(4)、滑块(6)、位置传感器(7)和位置传感器底座(8)；所述激光器底座(2)和直线导轨(4)放置在待测工件(1)的同一表面，且激光器底座(2)位于直线导轨(4)前方，所述激光器固定在激光器底座(2)上，所述滑块安装在所述直线导轨之上，且可沿该直线导轨做直线往复运动，所述位置传感器固定在所述滑块内部，该位置传感器与待测工件(1)表面垂直，使激光器的信号能垂直入射至位置传感器。