GRAPHENE MANUFACTURING APPARATUS USING ROLL-TO-ROLL PROCESS

摘要

본 발명은 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치에 관한 것이다. 본 발명의 일측면에 따르면, 외부와 밀폐되도록 형성되며 적어도 하나의 투광창을 구비한 메인 챔버; 상기 메인 챔버의 일측에 구비되며, 그래핀 합성을 위한 촉매 기판을 상기 메인 챔버 내부로 공급하는 공급롤이 내부에 수용되는 공급 챔버; 상기 메인 챔버의 타측에 구비되며, 상기 메인 챔버 내부를 통과한 촉매 기판이 회수되는 회수롤이 내부에 수용되는 회수 챔버; 상기 메인 챔버의 투광창 외측에 설치되며, 메인 챔버 내부를 통과하는 상기 촉매 기판에 상기 투광창을 통해 근적외선을 조사하여 가열하는 근적외선 히팅모듈; 및 상기 메인 챔버 내부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급밸브;를 포함하여 구성되는 롤투롤 방식의 그래핀 제조장치가 개시된다.