用于磁场增强等离子体反应器中成形磁场的方法

摘要

在此提供一种用于在磁性增强等离子体反应器中成形磁场的方法和装置。在一个实施方式中，一种用于旋转工艺腔室中的磁场的方法包括：形成具有主形状的磁场；将所述主形状该改变为至少两个连续的过渡形状；以及将所述过渡步骤改变为旋转后的主形状。可选地，所述磁场可在整个每个蚀刻步骤中保持为大约恒定的大小。可选地，供应到一个或多个磁场产生线圈的一支电流的最大值等于零或者具有在任何两个邻近步骤之间反转的极性。

主权项

1.一种旋转工艺腔室中磁场的方法，包含：提供工艺腔室，该工艺腔室具有围绕其设置的第一多个磁场产生线圈和第二多个磁场；以及使用所述第一多个磁场产生线圈的至少子集结合所述第二多个磁场产生线圈的至少子集以形成所述腔室内的连续磁场，其中所述连续磁场包括：具有主形状的磁场；至少两个连续的过渡形状；以及其中旋转后的主形状对应旋转约90度的所述主形状。