一种工件装夹夹具

摘要

本实用新型公开了一种工件装夹夹具，包括位于溅镀室的腔室底部的底座、底座上的固定轴、处于相邻两个固定轴之间的工件装夹板、工件装夹板上设置的工件装夹孔、位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间的传动轴；由于每个工件装夹板上的工件装夹孔可同时装夹至少两种不同类型的工件，因此能够同时溅镀不同类型的工件，提高溅镀的效率。

主权项

一种工件装夹夹具，其特征在于，包括：底座，位于溅镀室的腔室底部，所述溅镀室的侧壁设置靶材；所述底座上设置了N个第一固定孔；每个第一固定孔和所述底座的中心的距离相等；N≥2且为正整数；N个固定轴，和所述N个第一固定孔对应，每个固定轴通过各自的第一固定孔连接所述底座；M个工件装夹板，位于相邻两个固定轴之间，每个工件装夹板上设置有P个工件装夹孔，所述P个工件装夹孔安装至少两种不同类型的工件；其中，M为正整数，P≥2且为正整数；传动轴，位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间；所述传动轴固定连接所述底座，所述传动轴由驱动电机驱动运转，进而带动所述底座旋转。