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发明名称 APPARATUS FOR COMPENSATING STRAIGHTNESS ERROR OF LINEAR MOTOR STAGE AND SLIDING MODE CONTROL METHOD FOR THE SAME
摘要
申请公布号 KR100664493(B1) 申请公布日期 2007.01.03
申请号 KR20040084182 申请日期 2004.10.20
申请人 发明人
分类号 H02P7/06;H02P5/00 主分类号 H02P7/06
代理机构 代理人
主权项
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