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发明名称 Depositing organic and/or inorganic nanolayers by plasma discharge
摘要
申请公布号 EP1643005(A3) 申请公布日期 2008.03.19
申请号 EP20050405482 申请日期 2005.08.17
申请人 EMPA EIDGENOESSISCHE MATERIALPRUEFUNGS- UND FORSCHUNGSANSTALT 发明人 GROENING, PIERANGELO;BARRANCO, ANGEL
分类号 C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/52 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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