抑制雷射链路处理系统的工作雷射射束失真的方法

摘要

一种抑制工作雷射射束(12’)的失真的方法，该工作雷射射束(12’)是被导引以入射在一呈现以通过雷射链路处理系统(100)处理的靶极样本(14)上，该方法是使用空间滤波器(102)以自该工作雷射射束去除杂散光线所引起的失真。

主权项

1.一种抑制工作雷射射束的失真的方法，该工作雷射射束被导引以入射在一呈现以通过一雷射链路处理系统处理的靶极样本上，该工作雷射射束是由传送自一雷射的雷射输出射束所衍生出且通过一衰减器来加以衰减，该雷射及衰减器是构成该雷射链路处理系统的部件，该工作雷射射束的失真大体上会响应于该雷射输出射束的衰减量的增加而显著地增加，该方法包含以下步骤：透过该衰减器来导引该雷射输出射束以形成一衰减器输出射束；提供一空间滤波器，该空间滤波器包含一聚焦透镜及一孔径；导引该衰减器输出射束至该聚焦透镜，以形成一聚焦后的射束于一与该聚焦透镜相关联的聚焦区，该聚焦后的射束包含一主要射束分量及一杂散光线分量，该杂散光线分量产生自与该衰减器输出射束结合的链路处理系统散射的光线，以及该主要射束分量聚焦于一空间频率，且该杂散光线分量聚焦于一比该主要射束分量的空间频率更高的空间频率；以及定位该孔径于该聚焦区或靠近该聚焦区，以允许该主要射束分量无阻碍地通过及阻隔该等杂散光线分量，藉以从该工作雷射射束来去除杂散光线所引起的失真。