一种激振‑吸振行波引导微流体运输的装置

摘要

本实用新型涉及一种激振‑吸振行波引导微流体运输的装置，属于微精密驱动领域。它包括超声波信号发生器、超声行波驱动微器件、电感和电阻。本实用新型是利用压电陶瓷的逆压电效应产生高频振动并利用激振‑吸振的原理在微管道内产生超声行波声场，声场内的声辐射压可驱使微管道内微流体沿着行波方向运输,它是变传统微流体驱动的点驱动为面驱动且整个声场均为驱动源。这种激振‑吸振行波引导微流体运输的装置的优点在于：无活动部件，控制方式简单，控制精度高，微型化，集成化高等特点。

主权项

一种激振‑吸振行波引导微流体运输的装置，包括超声行波驱动微器件(100)，超声波信号发生器(9)，电阻(7)和电感(8)；其特征在于所述的超声行波驱动微器件(100)是通过在第二硅片(5)上沉积一层Si₃N₄薄膜(4)；然后通过微加工工艺把第二硅片(5)刻蚀为第三硅片(5a)并同时完成第三硅片(5a)与第一硅片(6)的键合，其中第一硅片(6)上刻有所需的直线式微管道结构；随后在Si₃N₄薄膜(4)上键合Glass片(3)，然后在Glass片(3)上分别粘结PZT‑4薄片(1)和PZT‑4薄片(2)；最后PZT‑4薄片(1)与超声波信号发生器(9)连接，以产生高频往复振动并激励出弯曲行波；PZT‑4薄片(2)与电阻(7)和电感(8)连接，以吸收由PZT‑4薄片(1)端传递来的弯曲行波能量。