摘要 |
Mikromechanische Struktur (10, 20) zum Empfang und/oder zur Erzeugung von akustischen Signalen in einem die Struktur (10, 20) zumindest teilweise umgebenden Medium, wobei die Struktur (10, 20) eine Membran (1) aufweist, wobei die Membran (1) mittels einer Aufhängung (30) mechanisch befestigt vorgesehen ist, wobei die mikromechanische Struktur (10, 20) zur Einstellung der Steifigkeit der Aufhängung (30) Abstimmungsmittel (41, 42, 45) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass – die Abstimmungsmittel (41, 42, 45) derart vorgesehen sind, eine Kraft (46) im Wesentlichen in der Haupterstreckungsebene der Membran (1) auf die Aufhängung (30) auszuüben, wobei durch die Ausübung der Kraft (46) eine Drehung der Membran (1) um eine auf die Haupterstreckungsebene der Membran (1) senkrechte Achse bewirkbar ist oder – die Abstimmungsmittel (41, 42, 45) wenigstens teilweise als Teil der Aufhängung (30) vorgesehen sind oder – die Abstimmungsmittel (41, 42, 45) als kammartige Elektrodenstruktur vorgesehen sind. |