发明名称 Method for making a first electrode and a second electrode, electronic component and electronic memory element
摘要
申请公布号 EP1180795(A3) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20010118283 申请日期 2001.07.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SARSTEDT, MARGIT, DR.
分类号 C23C14/32;C23C14/22;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址