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发明名称
Method for making a first electrode and a second electrode, electronic component and electronic memory element
摘要
申请公布号
EP1180795(A3)
申请公布日期
2004.10.20
申请号
EP20010118283
申请日期
2001.07.30
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
SARSTEDT, MARGIT, DR.
分类号
C23C14/32;C23C14/22;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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