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发明名称
Method for making high quality group-? nitride thin film by metal organic chemical vapor deposition
摘要
申请公布号
KR100506077(B1)
申请公布日期
2005.08.04
申请号
KR20000019821
申请日期
2000.04.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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