| 发明名称 |
Microsystem with a flexible membrane for pressure sensing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1351044(B1) |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
| 申请号 |
EP20030101198 |
申请日期 |
1998.04.15 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELAYE, MARIE-THERESE |
| 分类号 |
G01L9/00;G01L9/12;G06K9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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