| 摘要 |
니들 선단 연마면을 프로브 카드의 각 프로브 니들에 확실히 누를 수 있는 프로버를 제공한다. 복수의 프로브 니들(17)을 가지는 프로브 카드(16)를 구비하는 프로버(10)는, 니들 선단 연마 유닛(24)을 구비하고, 니들 선단 연마 유닛(24)은, 니들 선단에 접촉하는 WAPP(28)와, 이 WAPP(28)를 지지하는 서포트 멤버(27)를 가지고, WAPP(28)의 상면에는 래핑 시트(29)가 마련되고, WAPP(28)는 저면(30)에 형성된 복수의 오목부(31)를 가지고, 서포트 멤버(27)는 천장면(32)에 형성된 복수의 볼록부(33)를 가지고, WAPP(28)가 대피 위치로 이동했을 때, 각 볼록부(33)는 각 오목부(31)에 감합되고, WAPP(28)가 접촉 위치로 이동했을 때, 각 볼록부(33)의 정부는 저면(30)에서 오목부(31)가 형성되어 있지 않은 부분에 접촉한다. |
